光刻膠有哪些分類？

光刻膠有分類如下：

    光刻膠是LCD液晶屏光刻工藝的主要材料，光刻膠種類很多，目前國內(nèi)外的光刻膠品種已達(dá)40多種。根據(jù)光刻膠曝光前后溶解度特性的變化，可將光刻膠分為正性膠和負(fù)性膠兩大類。

   1，負(fù)性膠

      這種膠在曝光前對(duì)某些有機(jī)溶劑（丙酮，丁酮，環(huán)已酮）是可溶性的，曝光后發(fā)生光聚合反應(yīng)，不溶于有機(jī)溶課劑。當(dāng)用它進(jìn)行光刻時(shí)，在襯底表面將得到與光刻掩模版遮光圖案完全相反的圖形，故稱之為負(fù)性膠。目前，它主要由聚肉桂酸脂類，聚脂類和聚烴類（環(huán)化像膠）等組成。

2,正性膠

   這種膠在曝光前對(duì)某些溶劑是不可溶的而曝光后卻變成了可溶的。使用這種膠光刻時(shí)，能得到與光刻掩模版遮光圖案相同的圖形，故稱為正性膠。正性膠目前主要由鄰迭氮醌型化合物（感光性），苯駢三氮唑（增感劑）和乙二醇單乙酸丁脂（溶劑）組成。